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作為無塵室廠房的裝修工程設計的先導步驟，工藝設計需要在滿足電子產品生產要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產設備布局，合理確定各種公用動力設施的技術參數，做到能量消耗少、運行費用低、生產效率高和建設投資少;同時，還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置，滿足電子產品無塵室廠房的裝修工程生產要求和產品生產工藝要求；此外，還應該盡可能提升生產設備的自動化水平和物料運輸的自動化水平，在經濟、實用、安全可靠的條件下提高生產效率。

生產設備的平面布局也是電子無塵室廠房的裝修工程工藝設計的重要內容。電子無塵廠房形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據調查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產設備橫跨潔凈生產區和設備維護區，潔凈生產區對潔凈度要求嚴格，而設備維護區的空氣潔凈度等級相對較低。從無塵廠房的規劃開始，對于電子工廠無塵廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性，以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。

觸摸屏車間潔凈要求：

LCD無塵車間凈化其凈化潔凈度一般為萬級，局部千級要求，部分要求恒溫恒濕。

1、無塵車間安裝室內空氣參數要求:

1-1溫濕度要求：溫度一般為23+2℃，相對濕度為55+5%。

1-2新風量大。由于這類凈化無塵車間內人員比較多，可以根據以下數值應取下列的*大值：非單向流凈化無塵室車間總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。

1-3送風量大。為了滿足無塵凈化車間內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是千級凈化無塵車間，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);

1-4壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

1-5平均風速：100級：0.3-0.5m/s;

1-6噪聲≤65dB(A);

1-7照度≥300LX

2-2、潔凈室入口設風淋室。貨物進出設貨淋室或者傳遞窗等物流通道;

2-3、單人風淋室，應按*大班人數30人設一臺。潔凈室人員超過5人時，風淋室一側應設單向旁通門;

2-4、風淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施;

2-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設氣閘室。

3、物流

3-1、潔凈室內的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。

3-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

4、靜壓差

4-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;

4-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;

4-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。

5、凈化原理

氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化

重復以上過程，即可達到凈化車間目的

6、結構材料

6-1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。角與角之前的拼接選用圓弧連接，宜清潔，符合GMP要求

6-2、地坪：可采用2mm/3mm環氧樹脂或是PVC地坪，電子廠房選用防靜電地坪

6-3、送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。

6-4、高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔 。

7、凈化參數

換氣次數：100000級≥18次;10000級≥30次;1000≥50次。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速：10級、100級0.3-0.5m/s;

溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。

濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX